用于晶體生長設(shè)備的坩堝升降機構(gòu)和晶體生長設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011629059.9 申請日 -
公開（公告）號 CN112831830A 公開（公告）日 2021-05-25
申請公布號 CN112831830A 申請公布日 2021-05-25
分類號 C30B15/30;C30B15/28;C30B29/06 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 袁長路;苗江濤 申請（專利權(quán)）人 徐州晶睿半導體裝備科技有限公司
代理機構(gòu) 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 張文姣
地址 221004 江蘇省徐州市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)鑫芯路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于晶體生長設(shè)備的坩堝升降機構(gòu)和晶體生長設(shè)備，坩堝升降機構(gòu)包括坩堝軸、稱重組件和調(diào)節(jié)組件，坩堝適于安裝在坩堝軸上，坩堝軸用于驅(qū)動坩堝上下移動和驅(qū)動坩堝繞坩堝軸的中心軸線轉(zhuǎn)動，稱重組件與坩堝軸配合，且用于稱量坩堝軸上的承載重量并輸出稱重信息，調(diào)節(jié)組件連接坩堝軸和稱重組件，且用于調(diào)整坩堝軸和稱重組件在坩堝軸的軸向上的相互作用力。根據(jù)本發(fā)明的用于晶體生長設(shè)備的坩堝升降機構(gòu)，具有良好的稱量穩(wěn)定性和準確性。