單晶爐的除塵過濾系統(tǒng)及其控制方法、單晶爐組件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011508798.2 申請日 -
公開（公告）號 CN112619306A 公開（公告）日 2021-04-09
申請公布號 CN112619306A 申請公布日 2021-04-09
分類號 B01D46/00;C30B15/00 分類 一般的物理或化學的方法或裝置;
發(fā)明人 王建軍;汪佳;王磊;黃保強;王曉明;張理杰 申請（專利權）人 徐州晶睿半導體裝備科技有限公司
代理機構 北京清亦華知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 周慧云
地址 221004 江蘇省徐州市經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)鑫芯路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種單晶爐的除塵過濾系統(tǒng)，包括除塵裝置、儲氣裝置、第一真空裝置和第二真空裝置，除塵裝置為多個，每個除塵裝置上設有第一進氣管路，第一進氣管路適于與單晶爐的排氣口連通，儲氣裝置上設有出氣管路，每個除塵裝置分別通過出氣管路與儲氣裝置連通，出氣管路上設有第二開關閥，第一真空裝置上設有第一真空管路，每個除塵裝置分別通過第一真空管路與第一真空裝置連通，第二真空裝置上設有第二真空管路，每個除塵裝置分別通過第二真空管路與第二真空裝置連通。根據(jù)本發(fā)明的單晶爐的除塵過濾系統(tǒng)，便于實現(xiàn)對除塵裝置的除塵處理，有效避免除塵裝置堵塞，且不影響單晶爐的長晶過程。