晶體生長(zhǎng)設(shè)備的提拉系統(tǒng)及晶體生長(zhǎng)設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011353627.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112647124A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-04-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112647124A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-13 |
| 分類(lèi)號(hào) | C30B15/32;C30B15/30;C30B15/00 | 分類(lèi) | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 袁長(zhǎng)路;苗江濤 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 徐州晶睿半導(dǎo)體裝備科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 黃玉霞 |
| 地址 | 221004 江蘇省徐州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)鑫芯路1號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種晶體生長(zhǎng)設(shè)備的提拉系統(tǒng)及晶體生長(zhǎng)設(shè)備，提拉系統(tǒng)包括：固定支架、籽晶軸和密封組件。籽晶軸為剛性件，密封組件設(shè)在固定支架上且套設(shè)在籽晶軸的下端，籽晶軸相對(duì)密封組件可上下移動(dòng)且繞籽晶軸的中心軸線(xiàn)可轉(zhuǎn)動(dòng)，密封組件與籽晶軸的外周面之間限定出適于容納潤(rùn)滑油的潤(rùn)滑間隙，密封組件上形成有與潤(rùn)滑間隙連通的第一進(jìn)口和第一出口，潤(rùn)滑油適于從第一進(jìn)口進(jìn)入潤(rùn)滑間隙，并適于從第一出口流出潤(rùn)滑間隙。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的提拉系統(tǒng)，籽晶軸的旋轉(zhuǎn)和提升更為穩(wěn)定，有利于晶體中原子的排列和生長(zhǎng)，并且籽晶軸下端的密封組件能進(jìn)一步使籽晶軸更加穩(wěn)定運(yùn)行，從而有效提升晶體生長(zhǎng)質(zhì)量。 |
