用于單晶爐的快捷化料機(jī)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920627321.2 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN210085626U 公開（公告）日 2020-02-18
申請公布號(hào) CN210085626U 申請公布日 2020-02-18
分類號(hào) C30B35/00;C30B29/06 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 魏海寧;樓杭炯 申請（專利權(quán)）人 徐州晶睿半導(dǎo)體裝備科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京淮海知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 徐州晶睿半導(dǎo)體裝備科技有限公司
地址 221000 江蘇省徐州市徐州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)鑫芯路1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開一種用于單晶爐的快捷化料機(jī)構(gòu)，包括柱形防護(hù)罩，所述柱形防護(hù)罩的內(nèi)側(cè)面底部設(shè)有坩堝，柱形防護(hù)罩的內(nèi)側(cè)面設(shè)有環(huán)形吸熱管，柱形防護(hù)罩的外側(cè)面上端設(shè)有定位板，定位板的上表面設(shè)有L形定位板，L形定位板的外側(cè)面中部設(shè)有矩形油箱，矩形油箱的上表面設(shè)有回流泵，L形定位板的外側(cè)面上端連接有環(huán)形預(yù)熱罩，本用于單晶爐的快捷化料機(jī)構(gòu)，結(jié)構(gòu)緊湊，安裝方便，使用時(shí)占用空間小，可以快速高效的對單晶硅生產(chǎn)原料進(jìn)行預(yù)加熱處理，環(huán)形預(yù)熱罩的設(shè)置使得原料可以均勻受熱，環(huán)形吸熱管的設(shè)置方便了熱量的回收，排料電機(jī)通過帶動(dòng)下料螺桿均勻旋轉(zhuǎn)，可以實(shí)現(xiàn)物料的均勻下料。