一種降低硅片崩邊脫晶的裝置和方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110686810.7 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN113437006A 公開(公告)日 2021-09-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN113437006A 申請(qǐng)公布日 2021-09-24
分類號(hào) H01L21/677(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 周其斌;殷強(qiáng)強(qiáng);唐福云 申請(qǐng)(專利權(quán))人 江蘇潤陽世紀(jì)光伏科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京普睿益思知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 張麗麗
地址 224007江蘇省鹽城市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)漓江路88號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種降低硅片崩邊脫晶的裝置和方法,其裝置包括運(yùn)輸網(wǎng)帶,所述運(yùn)輸網(wǎng)帶的兩側(cè)均相對(duì)設(shè)有若干金屬頂針,所述金屬頂針包括支撐斜桿,所述支撐斜桿上套設(shè)有軟殼保護(hù)套,其方法包括:將待燒結(jié)硅片的兩端分別卡放在兩側(cè)相應(yīng)設(shè)置的軟殼保護(hù)套上,兩側(cè)支撐斜桿與運(yùn)輸網(wǎng)帶之間形成一定的角度,使硅片相對(duì)運(yùn)輸網(wǎng)帶處于靜止?fàn)顟B(tài)并能防止硅片左右偏移,軟殼保護(hù)套可阻止硅片與金屬頂針的硬性碰撞。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比的優(yōu)點(diǎn)在于:可防止硅片在運(yùn)輸網(wǎng)帶傳送的過程中發(fā)生偏移,同時(shí)可減少硅片與金屬頂針的硬性碰撞,從而降低硅片崩邊與脫晶不良好的問題。