一種石墨舟降溫方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011579772.7 申請日 -
公開（公告）號 CN112993082A 公開（公告）日 2021-06-18
申請公布號 CN112993082A 申請公布日 2021-06-18
分類號 H01L31/18;H01L21/673;H01L21/205 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 周其斌;張政;蔡成;唐福云;楊灼堅;沙泉 申請（專利權）人 江蘇潤陽世紀光伏科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 224000 江蘇省鹽城市經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)湘江路58號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種石墨舟降溫方法，在PECVD沉積爐的防護門板上直接打至少兩個孔，孔內(nèi)配合安裝抽風風扇，抽風風扇直接將PECVD沉積爐內(nèi)熱氣抽取排出至爐外，降低爐內(nèi)溫度。使用該方法可以有效的降低石墨舟溫度，極大的節(jié)約降溫過程的時間，從而提升電池硅片生產(chǎn)效率，提高了硅片良率。