一種氧化硅鈍化PERC雙面電池及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011628235.7 申請日 -
公開（公告）號 CN112768534A 公開（公告）日 2021-05-07
申請公布號 CN112768534A 申請公布日 2021-05-07
分類號 H01L31/18(2006.01)I;H01L31/042(2014.01)I;H01L31/0216(2014.01)I 分類 -
發(fā)明人 劉銀生;樂雄英;陸祥 申請（專利權）人 江蘇潤陽世紀光伏科技有限公司
代理機構 常州佰業(yè)騰飛專利代理事務所（普通合伙） 代理人 王巍巍
地址 224005江蘇省鹽城市經濟技術開發(fā)區(qū)湘江路58號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種氧化硅鈍化PERC雙面電池及其制備方法。包括硅襯底、設置在硅襯底正面的正面介電層、依次設置在背面的第一介電層和第二介電層；正面介電層包括二氧化硅層和氮化硅層；第一介電層為氧化硅層或氮氧化硅層；第二介電層包括至少一層氮化硅層；第一介電層厚10?100nm；第二介電層厚60?180nm。制備：S1硅襯底表面預清洗及制絨；S2磷擴散制備P?N結；S3硅襯底邊緣刻蝕及背面拋光；S4正面介電層中二氧化硅層制備；S5正面介電層中氮化硅層制備；S6背面第一介電層制備；S7背面第二介電層制備；S8背面激光開槽；S9電極制備。本發(fā)明的氧化硅鈍化PERC雙面電池，取代了常規(guī)的氧化鋁鈍化PERC電池，在保證效率的同時可有效降低產品的制造成本，極大實現了電池端降本。??