一種太陽能電池片的制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110578014.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113314626A 公開（公告）日 2021-08-27
申請公布號 CN113314626A 申請公布日 2021-08-27
分類號 H01L31/0236;H01L31/042;H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張俊揆;董俊杰;張滿滿;王璐;樂雄英;陸祥 申請（專利權(quán)）人 江蘇潤陽世紀光伏科技有限公司
代理機構(gòu) 常州佰業(yè)騰飛專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 毛姍
地址 224005 江蘇省鹽城市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)湘江路58號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種太陽能電池片的制造方法，包括：(1)對單晶硅片表面進行激光開孔；(2)激光開孔后進行酸洗，去除氧化層；(3)酸洗后進行堿制絨(各向異性)，形成金字塔結(jié)構(gòu)；(4)然后擴散、去除PSG、堿拋、氧化、正面沉積氮化硅、背面鈍化、背面激光開孔、絲網(wǎng)印刷燒結(jié)，得到太陽能電池片。本發(fā)明的太陽能電池片制造方法在原有的工藝基礎(chǔ)上增加了制絨前激光開孔，激光開孔形成凹坑，有效增加了制絨表面積，同時凹坑制絨后表面會形成側(cè)面金字塔結(jié)構(gòu)，增加對光的反射次數(shù)，從而提升光的利用率，增加光生載流子數(shù)量，提升ISC，進而提升電池片轉(zhuǎn)換效率，在不考慮橫向遷移電阻的情況下，電流提升5％以上，電池片轉(zhuǎn)換效率提升1％以上。