一種石墨舟飽和工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110320556.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113136558A 公開（公告）日 2021-07-20
申請公布號 CN113136558A 申請公布日 2021-07-20
分類號 C23C16/02;C23C16/34;C23C16/505;H01L21/673;H01L31/18 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 邢顯邦;李海波 申請（專利權(quán)）人 江蘇潤陽世紀(jì)光伏科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 常州佰業(yè)騰飛專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王巍巍
地址 224005 江蘇省鹽城市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)湘江路58號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種石墨舟飽和工藝：(1)用氫氟酸去除石墨舟表面氮化硅；(2)用純水漂洗石墨舟；(3)使用熱水對石墨舟表面進(jìn)行預(yù)脫水；(4)在烘干槽內(nèi)先通入低溫氣流對石墨舟預(yù)烘干，再通入高溫氣流徹底烘干；(5)將爐管升溫預(yù)熱，用CDA對飽和爐管吹掃，將待飽和的石墨舟置于爐管內(nèi)，關(guān)閉爐門；(6)爐管繼續(xù)升溫，并通入氮氣；(7)將爐管抽真空，測試爐管漏率，測漏后再抽真空；(8)通入氨氣，開放射頻功率，對石墨舟第一次預(yù)處理；(9)通入氨氣和硅烷，打開射頻電源，使用PECVD對所述石墨舟表面進(jìn)行飽和處理；(10)通入氨氣，打開射頻電源，對石墨舟后處理；(11)抽真空，通入氮氣將爐管恢復(fù)到常壓；(12)取出飽和好的石墨舟。