一種高效導(dǎo)電粒子檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022803337.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN214334700U 公開(kāi)(公告)日 2021-10-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN214334700U 申請(qǐng)公布日 2021-10-01
分類號(hào) G01N21/88(2006.01)I 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 武宏昌;鄧何明;徐飛 申請(qǐng)(專利權(quán))人 深圳精創(chuàng)視覺(jué)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518109廣東省深圳市龍華區(qū)龍華街道和平東路港之龍科技園科技孵化中心6樓E、I區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種高效導(dǎo)電粒子檢測(cè)裝置,包括機(jī)架、定位測(cè)高模組、視覺(jué)檢測(cè)模組、運(yùn)動(dòng)載物平臺(tái)以及電氣控制模組,定位測(cè)高模組用于監(jiān)測(cè)距運(yùn)動(dòng)載物平臺(tái)上承載產(chǎn)品的位置和高度;視覺(jué)檢測(cè)模組包括微分干涉顯微鏡系統(tǒng)和升降組件,微分干涉顯微鏡系統(tǒng)設(shè)置在升降組件上并可在其帶動(dòng)下進(jìn)行升降運(yùn)動(dòng),微分干涉顯微鏡系統(tǒng)采集產(chǎn)品表面特征;運(yùn)動(dòng)載物平臺(tái)用于承載產(chǎn)品并帶動(dòng)產(chǎn)品移動(dòng)調(diào)節(jié)位置;電氣控制模組,用于控制檢測(cè)裝置的運(yùn)行過(guò)程。該裝置能排除人為參與對(duì)產(chǎn)品接觸的不良影響而完全取代人力,減小勞動(dòng)強(qiáng)度,節(jié)省成本,而且該裝置可以一次性檢測(cè)玻璃產(chǎn)品上所有的缺陷,且不會(huì)對(duì)產(chǎn)品造成損傷,檢測(cè)效率高,產(chǎn)品檢測(cè)的一致性強(qiáng),輕松實(shí)現(xiàn)全程自動(dòng)化。