尾排結(jié)構(gòu)和具有其的LPCVD設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122924307.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN216556501U 公開(kāi)（公告）日 2022-05-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN216556501U 申請(qǐng)公布日 2022-05-17
分類號(hào) F17D1/02（2006.01）I;F17D1/065（2006.01）I;F17D3/01（2006.01）I;C23C16/44（2006.01）I 分類 氣體或液體的貯存或分配;
發(fā)明人 張勇;李銳;羅偉斌;李美詩(shī) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 -
地址 518118廣東省深圳市坪山區(qū)龍?zhí)锝值乐窨由鐓^(qū)金牛東路62號(hào)一層至六層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了尾排結(jié)構(gòu)和具有其的LPCVD設(shè)備，尾排結(jié)構(gòu)包括第一管路組件，第二管路，真空泵組件和第三管路。根據(jù)本實(shí)用新型的尾排結(jié)構(gòu)，可以作為其他管路損壞后的備選通路；可以在不需要精準(zhǔn)控制氣壓時(shí)使用，以減少控制調(diào)節(jié)閥的使用，增加控制調(diào)節(jié)閥的使用壽命；可以更加安全、有效地處理設(shè)備異常時(shí)的氣體排放問(wèn)題，將爐管中的廢氣等氣體輸送到尾氣處理裝置中。