鍍膜載具及鍍膜設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123042770.7 申請日 -
公開（公告）號 CN216919401U 公開（公告）日 2022-07-08
申請公布號 CN216919401U 申請公布日 2022-07-08
分類號 C23C16/458（2006.01）I;C23C16/44（2006.01）I;H01L21/673（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李國慶;張凡;滿小花;王應(yīng)斌;文鷗;肖榮峰 申請（專利權(quán)）人 深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 -
地址 518118廣東省深圳市坪山區(qū)龍?zhí)锝值乐窨由鐓^(qū)金牛東路62號一層至六層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種鍍膜載具及鍍膜設(shè)備，鍍膜載具包括口袋板、第一支撐梁、連接件及第二支撐梁，連接件與第一支撐梁、口袋板插接，光桿部與第一安裝孔的內(nèi)壁之間具有間隙，凸緣部與口袋板之間具有間隙，口袋板設(shè)置有多個插條，第二支撐梁設(shè)置有多個插孔，插條插入至插孔內(nèi)，插條與插孔的內(nèi)壁之間具有間隙；鍍膜設(shè)備包括鍍膜載具。本實用新型中，口袋板與第一支撐梁連接的兩側(cè)，連接件與口袋板之間存在間隙，口袋板與第二支撐梁連接的兩側(cè)，插條與第二支撐梁之間存在間隙，允許口袋板的邊緣向外側(cè)膨脹，口袋板的外周均可受熱自由膨脹，降低了口袋板因膨脹受限而導(dǎo)致變形的風(fēng)險，有利于提高硅片的鍍膜質(zhì)量。