一種石英舟

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122795835.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN216563042U 公開（公告）日 2022-05-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN216563042U 申請(qǐng)公布日 2022-05-17
分類號(hào) H01L21/673（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 余仲;楊寶立;林金雨 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 -
地址 518118廣東省深圳市坪山區(qū)龍?zhí)锝值乐窨由鐓^(qū)金牛東路62號(hào)一層至六層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種石英舟，包括由端板、固定部、支撐部、加強(qiáng)部和手持部，其中支撐部和固定部成了兩列容置空間，可提升石英舟對(duì)硅片的裝載數(shù)量；由于加強(qiáng)部的加強(qiáng)作用，因此可提升石英舟的裝載重量；由于各部件結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)，還可簡(jiǎn)化石英舟的制備過程。