一種用于在大長徑比金屬管內(nèi)沉積硬質(zhì)涂層的裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022593808.9 申請日 -
公開（公告）號 CN213538086U 公開（公告）日 2021-06-25
申請公布號 CN213538086U 申請公布日 2021-06-25
分類號 C23C14/35（2006.01）I;C23C14/04（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 彭徽;康杰;裴延玲;宮聲凱;李樹索;張恒 申請（專利權(quán)）人 北航（四川）西部國際創(chuàng)新港科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京高沃律師事務(wù)所 代理人 王富強(qiáng)
地址 610213四川省成都市天府新區(qū)成都直管區(qū)正興鎮(zhèn)涼風(fēng)頂村3組303號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種用于在大長徑比金屬管內(nèi)沉積硬質(zhì)涂層的裝置，包括真空腔體、供氣系統(tǒng)、離子發(fā)生裝置、支撐架、電源、磁場發(fā)生裝置、真空泵、偏壓電源和加熱裝置。其中，真空腔體為封閉腔體；供氣系統(tǒng)用于向真空腔體提供工作氣體和工藝氣體，工作氣體為惰性氣體；離子發(fā)生裝置包括空心陰極電子槍和輔助陽極；支撐架固定于真空腔體內(nèi)；空心陰極電子槍與電源的負(fù)極電連接，輔助陽極與電源的正極電連接；磁場發(fā)生裝置用于產(chǎn)生沿待涂層金屬管軸線方向的磁場；真空泵與真空腔體相連；偏壓電源與真空腔體相連；加熱裝置安裝于真空腔體內(nèi)。相比于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型適用范圍大、離子沉積速度快，形成的涂層密度高、均勻性好。