電腦式HMDS涂膠機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821421009.X 申請日 -
公開（公告）號 CN208928470U 公開（公告）日 2019-06-04
申請公布號 CN208928470U 申請公布日 2019-06-04
分類號 B05C3/109（2006.01）I; B05C11/10（2006.01）I; B05D3/04（2006.01）I; B05D3/02（2006.01）I 分類 一般噴射或霧化；對表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕;
發(fā)明人 安小敏; 陳善瑾 申請（專利權）人 合肥真萍電子科技有限公司
代理機構 合肥拓進知識產權代理有限公司 代理人 合肥真萍電子科技有限公司
地址 230000 安徽省合肥市經濟技術開發(fā)區(qū)習友路東，慈光路南清華啟迪科技城創(chuàng)客空間AB幢A-1007室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種電腦式HMDS涂膠機，箱體、箱門、腔體、控制器、真空系統(tǒng)、供藥液系統(tǒng)、溫度控制系統(tǒng)、常閉型繼電器、光電開關、加熱元件、測溫元件、觸摸屏、蜂鳴器和指示燈，真空系統(tǒng)包括有真空泵、充氣泵和真空度檢測元件，供藥液系統(tǒng)包括有藥液蒸汽罐，溫度控制系統(tǒng)包括有溫控儀。本實用新型具有安全防護功能，通過設置該烘箱，并設定烘箱HMDS預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)，可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高了光刻膠與硅片的黏附性。