用于干法刻蝕的藍(lán)寶石襯底表面加工前期生產(chǎn)方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201010568673.9 申請日 -
公開（公告）號 CN102110592A 公開（公告）日 2011-06-29
申請公布號 CN102110592A 申請公布日 2011-06-29
分類號 H01L21/02(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳鵬;王欒井;宋雪云;譚崇斌;徐峰;徐洲;吳真龍;高峰 申請（專利權(quán)）人 揚(yáng)州隆耀光電科技發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 揚(yáng)州市錦江專利事務(wù)所 代理人 南京大學(xué)揚(yáng)州光電研究院
地址 225009 江蘇省揚(yáng)州市開發(fā)區(qū)邗江中路119號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 用于干法刻蝕的藍(lán)寶石襯底表面加工前期生產(chǎn)方法，屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，本發(fā)明先在藍(lán)寶石襯底上利用光刻技術(shù)制備光刻圖形，再利用真空蒸鍍設(shè)備在藍(lán)寶石襯底上蒸鍍多層金屬結(jié)構(gòu)A/Ni/B/Ni/C/Ni……作為刻蝕藍(lán)寶石襯底的掩膜層，然后將藍(lán)寶石襯底放入與所用光刻膠相對應(yīng)的去膠劑中，進(jìn)行光刻膠剝離工藝，完成金屬掩膜結(jié)構(gòu)的制備。制成的半成品——具有金屬掩膜結(jié)構(gòu)的藍(lán)寶石襯底可以滿足對藍(lán)寶石襯底進(jìn)行各種深度尺寸的干法刻蝕的工藝需求，可通過干法刻蝕技術(shù)進(jìn)行表面加工。