薄膜吸氣劑及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010137169.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113337800A 公開(kāi)（公告）日 2021-09-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN113337800A 申請(qǐng)公布日 2021-09-03
分類號(hào) C23C14/35（2006.01）I;C23C14/16（2006.01）I;C23C14/18（2006.01）I;B01J20/28（2006.01）I;B01J20/02（2006.01）I;B01J20/30（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 梁尚娟;徐振宇 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 杭州?？滴⒂皞鞲锌萍加邢薰?/a>
代理機(jī)構(gòu) 北京博思佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 楊春香
地址 311501浙江省杭州市桐廬縣桐廬經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)求是路299號(hào)A1號(hào)樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N薄膜吸氣劑及其制備方法。所述薄膜吸氣劑包括襯底及形成于所述襯底上的吸氣層，所述吸氣層為疏松多孔結(jié)構(gòu)，所述吸氣層中鈦的質(zhì)量含量大于或等于90％。所述薄膜吸氣劑還包括形成于所述襯底與所述吸氣層之間的阻擋層，所述阻擋層的孔隙率小于所述吸氣層的孔隙率，所述阻擋層中鈦的質(zhì)量含量大于或等于90％；和/或，所述薄膜吸氣劑還包括形成于所述吸氣層背離所述襯底的一側(cè)的保護(hù)層，所述保護(hù)層的孔隙率小于所述吸氣層的孔隙率，所述保護(hù)層中鈦的質(zhì)量含量大于或等于90％。