一種TopCon電池的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210034770.2 申請日 -
公開（公告）號 CN114050105A 公開（公告）日 2022-02-15
申請公布號 CN114050105A 申請公布日 2022-02-15
分類號 H01L21/268（2006.01）I;H01L21/225（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I;H01L31/0216（2014.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 余浩;方靈新;單偉;何勝;徐偉智;黃海燕;陸川 申請（專利權(quán)）人 正泰新能科技有限公司
代理機構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張雪嬌
地址 314400浙江省嘉興市海寧市尖山新區(qū)吉盛路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種TopCon電池的制備方法。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明在TopCon電池正面層積氧化鎵，氧化鎵可以鈍化表面，同時利用氧化鎵作為正面P+摻雜劑的來源，鎵元素在硅中有較快的擴散系數(shù)，再搭配激光進行正面摻雜，可以實現(xiàn)局部的鎵元素?fù)诫s，從而實現(xiàn)金屬接觸區(qū)的重?fù)诫s，降低接觸電阻，同時實現(xiàn)受光區(qū)的輕摻雜，降低表面俄歇復(fù)合，提升開路電壓，提升填充因子FF，提升電池效率。并且該方法不需要另外提供摻雜劑來源，只需要在正面氧化鎵層積后，增加激光摻雜工序，簡化了TopCon電池的制備工序，有利于降低成本。