一種整片晶圓納米壓印光刻機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121035046.9 申請日 -
公開（公告）號 CN214704303U 公開（公告）日 2021-11-12
申請公布號 CN214704303U 申請公布日 2021-11-12
分類號 G03F7/00（2006.01）I;G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 孫立;胡金鑫;劉暉 申請（專利權）人 青島影創(chuàng)信息科技有限公司
代理機構 上海港慧專利代理事務所（普通合伙） 代理人 卞小婷
地址 266288山東省青島市即墨區(qū)通濟新經濟區(qū)九江路17號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種整片晶圓納米壓印光刻機，包括底板，所述底板的頂部通過軸承轉動連接有豎桿，所述豎桿的外壁上方固接有多個支桿，所述支桿的末端設有限位機構。該整片晶圓納米壓印光刻機，可對多個承片臺內部晶圓實現(xiàn)軸向轉動切換印壓加工，進而大幅提升加工效率，且通過頂板與凹槽的轉動連接，以及彈簧一的設置，使得頂板可同時向內轉動，進而對不同尺寸的晶圓實現(xiàn)限位固定，提升加工穩(wěn)定性，進而保證印壓精度，加工后晶圓可在切換加工過程中自動頂出承片臺，進而提升卸料便捷性，提升加工效率，豎桿可隨著電機慢速轉動，進而可實現(xiàn)電控間歇切換加工，自動化程度更高。