具有栓塞的半導(dǎo)體器件

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810291816.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN108511416B 公開（公告）日 2019-08-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN108511416B 申請(qǐng)公布日 2019-08-30
分類號(hào) H01L23/528;H01L21/768 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 睿力集成電路有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市鑄成律師事務(wù)所 代理人 張臻賢;李夠生
地址 230000 安徽省合肥市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)翠微路6號(hào)海恒大廈630室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種具有栓塞的半導(dǎo)體器件，包括半導(dǎo)體襯底，在襯底表面形成介質(zhì)層，介質(zhì)層具有連通至襯底表面的孔洞以及第一平坦面，孔洞的開口暴露于第一平坦面；導(dǎo)電栓塞填充在孔洞中，導(dǎo)電栓塞為由第一導(dǎo)電層構(gòu)成的均質(zhì)實(shí)心體，導(dǎo)電栓塞具有第二平坦面，第二平坦面無凹陷且填滿孔洞的開口，第二平坦面與第一平坦面在同一平面；阻擋層設(shè)置在孔洞表面與導(dǎo)電栓塞之間；第二導(dǎo)電層設(shè)置于襯底在孔洞底部的表面與孔洞底部的阻擋層之間；阻擋層具有環(huán)緣，顯露于孔洞的開口中且在第一平坦面與第二平坦面之間，第二平坦面經(jīng)由環(huán)緣與第一平坦面形成在一連續(xù)表面中。本發(fā)明半導(dǎo)體器件的導(dǎo)電栓塞具有無空隙、電阻低、可靠性高等優(yōu)點(diǎn)。