一種晶圓清洗用適用于不同尺寸的花籃

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120372801.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214175987U 公開（公告）日 2021-09-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN214175987U 申請(qǐng)公布日 2021-09-10
分類號(hào) H01L21/673（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 錢誠(chéng);李剛;李文亭 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇亞電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京商專潤(rùn)文專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳平
地址 225500江蘇省泰州市姜堰區(qū)三水街道科技路199號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種晶圓清洗用適用于不同尺寸的花籃，包括支撐機(jī)構(gòu)，還包括設(shè)置在所述支撐機(jī)構(gòu)上的用于對(duì)晶圓進(jìn)行限位支撐的限位機(jī)構(gòu)，所述限位機(jī)構(gòu)上設(shè)置有用于對(duì)放置晶圓進(jìn)行固定的固定機(jī)構(gòu)。本實(shí)用新型通過(guò)調(diào)整機(jī)構(gòu)的雙螺旋絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)，使前后兩側(cè)的滑塊在滑軌內(nèi)相對(duì)移動(dòng)，調(diào)整第一限位板、第二限位板的間距，使第一限位板、第二限位板的下限位座對(duì)晶圓下側(cè)進(jìn)行初步支撐，然后通過(guò)固定機(jī)構(gòu)的夾板在彈簧的作用力下對(duì)兩側(cè)進(jìn)行夾緊固定，再轉(zhuǎn)動(dòng)第三限位板上連接的螺桿，推動(dòng)第三限位板向下移動(dòng)，對(duì)晶圓上部進(jìn)行支撐限位，便于適應(yīng)不同尺寸晶圓的支撐固定，提高了對(duì)晶圓固定的便利性，避免多規(guī)格花籃的儲(chǔ)備。