一種用于晶圓加工的表面清洗涂膠裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110173405.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112974083B 公開（公告）日 2021-08-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN112974083B 申請(qǐng)公布日 2021-08-27
分類號(hào) B05B16/20（2018.01）I;B05B16/40（2018.01）I;B05B13/02（2006.01）I 分類 一般噴射或霧化；對(duì)表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕;
發(fā)明人 錢誠(chéng);李剛;童建 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇亞電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京商專潤(rùn)文專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳平
地址 225500江蘇省泰州市姜堰區(qū)三水街道科技路199號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于晶圓加工的表面清洗涂膠裝置，包括密封設(shè)備，所述密封設(shè)備主要由支撐腿、箱體、密封蓋組成，所述箱體底部通過(guò)螺栓連接有所述支撐腿，所述箱體頂部蓋合有所述密封蓋，還包括旋轉(zhuǎn)支撐機(jī)構(gòu)、密封板、分割機(jī)構(gòu)。本發(fā)明可以通過(guò)氣缸帶動(dòng)連接架下降，連接架帶動(dòng)密封罩下降，使得密封罩扣合在密封板上，實(shí)現(xiàn)了對(duì)晶圓清洗、干燥、噴涂分別位于不同的且較小的密閉空間內(nèi)，可以在干燥晶圓時(shí)，干燥室內(nèi)部空間的濕度較小，有益于提高干燥效率，還可以通過(guò)驅(qū)動(dòng)電機(jī)在第二鏈條的作用下帶動(dòng)傳動(dòng)管轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)傳動(dòng)管在第一鏈條的作用下帶動(dòng)四個(gè)吸盤放料臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)了對(duì)不同工位的晶圓清洗、干燥、噴涂干燥的工作，進(jìn)一步提高了生產(chǎn)效率。