一種用于晶圓的清洗裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011613524.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112838030B 公開（公告）日 2021-08-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN112838030B 申請(qǐng)公布日 2021-08-27
分類號(hào) H01L21/67（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I;B08B1/02（2006.01）I;B08B1/00（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 錢誠(chéng);李剛;周興江 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇亞電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京商專潤(rùn)文專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳平
地址 225300江蘇省泰州市姜堰區(qū)三水街道科技路199號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于晶圓的清洗裝置，包括保護(hù)機(jī)構(gòu)、固定機(jī)構(gòu)、傳送機(jī)構(gòu)、清洗機(jī)構(gòu)，所述保護(hù)機(jī)構(gòu)上設(shè)置有所述傳送機(jī)構(gòu)，所述傳送機(jī)構(gòu)上端連接有所述固定機(jī)構(gòu)，所述固定機(jī)構(gòu)上側(cè)設(shè)置有所述清洗機(jī)構(gòu)，所述清洗機(jī)構(gòu)之間通過聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，所述清洗機(jī)構(gòu)、所述傳送機(jī)構(gòu)動(dòng)力端均連接動(dòng)力機(jī)構(gòu)。本發(fā)明所述齒條起配合配合齒輪作用，從而使得晶圓在清潔時(shí)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，利用多級(jí)聯(lián)動(dòng)效果，提高了動(dòng)能利用率，同時(shí)能夠進(jìn)行配合運(yùn)動(dòng)清洗提高清洗效果，利用移動(dòng)的固定座配合按壓彈性閥進(jìn)行噴水清洗，同時(shí)避免清潔劑的空噴，從而提高清潔劑的使用效率。