一種晶圓清洗設備清洗工位擋板機構

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023292130.7 申請日 -
公開（公告）號 CN214235484U 公開（公告）日 2021-09-21
申請公布號 CN214235484U 申請公布日 2021-09-21
分類號 B08B13/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 錢誠;李剛;吳清 申請（專利權）人 江蘇亞電科技有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 225300江蘇省泰州市姜堰區(qū)三水街道科技路199號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種晶圓清洗設備清洗工位擋板機構，固定框對各部件起到了一定的密閉作用，滑動塊驅動擋板從背板上開設有開口伸出或者縮回，從而可以伸入到運輸倉室，從而將第一清洗工位和第二清洗工位的頂部起到一定密閉阻擋作用，阻擋各工位清洗時，清洗液水霧或者氣體流入到臨近工位上。