一種用于晶圓的清洗裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202011613524.X | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112838030A | 公開（公告）日 | 2021-05-25 |
| 申請公布號 | CN112838030A | 申請公布日 | 2021-05-25 |
| 分類號 | H01L21/67;B08B3/02;B08B1/02;B08B1/00;B08B13/00 | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 錢誠;李剛;周興江 | 申請（專利權）人 | 江蘇亞電科技有限公司 |
| 代理機構 | 北京商專潤文專利代理事務所（普通合伙） | 代理人 | 陳平 |
| 地址 | 225300 江蘇省泰州市姜堰區(qū)三水街道科技路199號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種用于晶圓的清洗裝置，包括保護機構、固定機構、傳送機構、清洗機構，所述保護機構上設置有所述傳送機構，所述傳送機構上端連接有所述固定機構，所述固定機構上側設置有所述清洗機構，所述清洗機構之間通過聯(lián)動機構連接，所述清洗機構、所述傳送機構動力端均連接動力機構。本發(fā)明所述齒條起配合配合齒輪作用，從而使得晶圓在清潔時進行旋轉，利用多級聯(lián)動效果，提高了動能利用率，同時能夠進行配合運動清洗提高清洗效果，利用移動的固定座配合按壓彈性閥進行噴水清洗，同時避免清潔劑的空噴，從而提高清潔劑的使用效率。 |
