一種無籃晶圓清洗方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011092414.3 申請日 -
公開（公告）號 CN112371612B 公開（公告）日 2021-08-24
申請公布號 CN112371612B 申請公布日 2021-08-24
分類號 B08B3/02（2006.01）I;B08B3/04（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 童建;李剛;錢誠 申請（專利權(quán)）人 江蘇亞電科技有限公司
代理機構(gòu) 北京商專潤文專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳平
地址 225300江蘇省泰州市姜堰區(qū)三水街道科技路199號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種無籃晶圓清洗方法，由于晶圓直接被置入晶圓支撐架上，由晶圓支撐架直接支撐固定晶圓，省去了晶圓盒，因此，第一噴管上噴嘴能夠噴出的清洗液或者清水以拋物線的形式噴射到晶圓周面上，水流被晶圓切開并流到晶圓的前后表面從而直接對晶圓進行清洗，保證了清洗效果。