基于指標(biāo)預(yù)報(bào)和解相似度分析的光刻工序動(dòng)態(tài)調(diào)度方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410805103.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN104536412B 公開(kāi)（公告）日 2017-02-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN104536412B 申請(qǐng)公布日 2017-02-22
分類號(hào) G05B19/418(2006.01)I 分類 控制；調(diào)節(jié);
發(fā)明人 劉民;郝井華 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 正大業(yè)恒生物科技（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 100084 北京市海淀區(qū)清華園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 基于指標(biāo)預(yù)報(bào)和解相似度分析的光刻工序動(dòng)態(tài)調(diào)度方法，屬于先進(jìn)制造、自動(dòng)化和信息領(lǐng)域，其特征在于，針對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)線光刻工序動(dòng)態(tài)調(diào)度問(wèn)題，提出一種動(dòng)態(tài)調(diào)度方法。該方法首先將光刻工序動(dòng)態(tài)調(diào)度問(wèn)題分解為設(shè)備選擇調(diào)度子問(wèn)題和工件排序調(diào)度子問(wèn)題，并在線建立工件排序調(diào)度子問(wèn)題的性能指標(biāo)預(yù)報(bào)模型，然后，利用基于解相似度分析的差分進(jìn)化算法求解原調(diào)度問(wèn)題。在差分進(jìn)化算法中，上述工件排序調(diào)度子問(wèn)題性能指標(biāo)預(yù)報(bào)模型用于對(duì)設(shè)備選擇調(diào)度子問(wèn)題的解進(jìn)行全局調(diào)度性能的快速粗評(píng)價(jià)。在對(duì)調(diào)度解的評(píng)價(jià)過(guò)程中，本發(fā)明采用精確評(píng)價(jià)和粗評(píng)價(jià)相結(jié)合的方式進(jìn)行差分進(jìn)化算法中解的性能評(píng)價(jià)；使用該調(diào)度方法可顯著提升光刻工序生產(chǎn)調(diào)度的效率和效果。