基于聚類和多任務(wù)學(xué)習(xí)的化學(xué)機(jī)械研磨時(shí)間設(shè)定方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410805040.3 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN104598720A 公開（公告）日 2015-05-06
申請公布號(hào) CN104598720A 申請公布日 2015-05-06
分類號(hào) G06F19/00(2011.01)I 分類 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù);
發(fā)明人 劉民;段運(yùn)強(qiáng);董明宇;郝井華 申請（專利權(quán)）人 正大業(yè)恒生物科技（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 100084 北京市海淀區(qū)清華園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 基于聚類和多任務(wù)學(xué)習(xí)的化學(xué)機(jī)械研磨時(shí)間設(shè)定方法，屬于自動(dòng)控制、信息技術(shù)和先進(jìn)制造領(lǐng)域，其特征在于，為實(shí)現(xiàn)多品種混合下微電子制造過程化學(xué)機(jī)械研磨時(shí)間優(yōu)化設(shè)定，本方法將工藝指標(biāo)及產(chǎn)品狀態(tài)作為輸入，影響工藝指標(biāo)的關(guān)鍵因素-研磨時(shí)間作為輸出建立逆向模型用于對研磨時(shí)間進(jìn)行優(yōu)化設(shè)定。在構(gòu)建上述逆向模型過程中，針對生產(chǎn)品種種類多，單個(gè)品種數(shù)據(jù)少的問題，將相似品種按產(chǎn)品特征進(jìn)行聚類，在每個(gè)類別中采用基于共有參數(shù)提取的多任務(wù)學(xué)習(xí)方法進(jìn)行建模；所計(jì)算出的模型參數(shù)分為本類品種共有部分和單品種私有部分。