一種導(dǎo)流筒和拉晶爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123301915.0 申請日 -
公開（公告）號 CN216864376U 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN216864376U 申請公布日 2022-07-01
分類號 C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 郭超超;李騰飛;張鵬舉 申請（專利權(quán)）人 西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安維英格知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 710065陜西省西安市高新區(qū)西灃南路1888號1-3-029室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型的第一方面公開了導(dǎo)流筒，所述導(dǎo)流筒包括：主筒體，所述主筒體包括周向壁和從所述周向壁的一個(gè)軸向端部沿徑向方向向內(nèi)延伸的底壁，周向壁圍成第一通孔，底壁圍成第二通孔；副筒體，所述副筒體可拆卸地連接至所述主筒體的底壁，所述副筒體具有第三通孔，當(dāng)所述副筒體連接至所述主筒體時(shí)，所述第三通孔與所述第一通孔連通以形成所述導(dǎo)流筒的導(dǎo)流孔。本實(shí)用新型的第二方面公開了拉晶爐，所述拉晶爐包括根據(jù)第一方面的導(dǎo)流筒。導(dǎo)流筒的可拆卸式設(shè)計(jì)有效地降低了導(dǎo)流筒的更換成本，由于副筒體只構(gòu)成了導(dǎo)流筒的一部分底壁，而這一部分往往是最容易受到污染的部分，僅對這一部分進(jìn)行更換可以在解決污染問題的同時(shí)使經(jīng)濟(jì)效益最大程度地提高。