一種硅片研磨液前處理裝置和硅片研磨設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123365614.4 申請日 -
公開（公告）號 CN216791798U 公開（公告）日 2022-06-21
申請公布號 CN216791798U 申請公布日 2022-06-21
分類號 G01N1/28（2006.01）I;G01N27/626（2021.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 何剛;程遠(yuǎn)梅;趙莉珍;溫濤 申請（專利權(quán)）人 西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 710000陜西省西安市高新區(qū)西灃南路1888號1-3-029室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種硅片研磨液前處理裝置和硅片研磨設(shè)備。硅片研磨液前處理裝置包括：反應(yīng)釜，用于去除研磨液中的基質(zhì)；定容液供給組件，與所述反應(yīng)釜連接，所述定容液供給組件用于向所述反應(yīng)釜供給定容液；濃縮柱，用于分離和濃縮研磨液中的金屬元素，所述濃縮柱的輸出端與檢測設(shè)備連接。多通閥，所述反應(yīng)釜與所述多通閥連接，所述多通閥還與廢液管連接，所述多通閥用于控制所述反應(yīng)釜與所述廢液管連通，或者控制所述反應(yīng)釜與所述濃縮柱連通。本實用新型實施例提高了對于研磨液中金屬元素的檢測的便利性。