一種用于曲面材料直寫光刻設(shè)備的背光照明裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122412139.5 申請日 -
公開（公告）號 CN215833760U 公開（公告）日 2022-02-15
申請公布號 CN215833760U 申請公布日 2022-02-15
分類號 G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 章廣飛;王運鋼;薛業(yè)保;李文靜 申請（專利權(quán)）人 安徽國芯智能裝備有限公司
代理機構(gòu) 合肥律眾知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 侯克邦
地址 230051安徽省合肥市包河經(jīng)濟開發(fā)區(qū)重慶路與蘭州路交叉口中關(guān)村協(xié)同創(chuàng)新智匯園D3棟1樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及背光照明裝置，具體涉及一種用于曲面材料直寫光刻設(shè)備的背光照明裝置，包括真空吸盤和載盤，載盤底部固定有用于導(dǎo)入側(cè)面光線，并在表面形成均勻光分布的勻光板，真空吸盤上固定有與勻光板側(cè)面正對的條形光源，載盤上固定有橡膠座，橡膠座上放置有待刻曲面材料，勻光板包括靠近條形光源的近光面，與近光面相對的遠(yuǎn)光面，以及反射面、出射面，近光面、遠(yuǎn)光面和反射面上設(shè)有光線補償機構(gòu)；本實用新型提供的技術(shù)方案能夠有效克服現(xiàn)有技術(shù)所存在的不便與直寫光刻機進行固定連接、背光照明時會出現(xiàn)光分布不均勻的缺陷。