一種適用于直寫(xiě)光刻機(jī)的高速數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111169407.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113903366A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-01-07 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113903366A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-01-07 |
| 分類(lèi)號(hào) | G11B7/0045（2006.01）I;G06F13/40（2006.01）I | 分類(lèi) | 信息存儲(chǔ); |
| 發(fā)明人 | 章廣飛;王運(yùn)鋼;薛業(yè)保;李文靜 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 安徽國(guó)芯智能裝備有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥律眾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 侯克邦 |
| 地址 | 230051安徽省合肥市包河經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)重慶路與蘭州路交叉口中關(guān)村協(xié)同創(chuàng)新智匯園D3棟1樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)，具體涉及一種適用于直寫(xiě)光刻機(jī)的高速數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)，將多個(gè)數(shù)據(jù)處理板需要的數(shù)據(jù)進(jìn)行集中，一次性從萬(wàn)兆光纖網(wǎng)輸出，明顯減少了總線搶占情況，并且通訊能力強(qiáng)、抗干擾能力強(qiáng)、穩(wěn)定性好，有效提高了數(shù)據(jù)傳輸效率；數(shù)據(jù)同步與分發(fā)模塊接收到數(shù)據(jù)后，按照預(yù)設(shè)子協(xié)議將不同數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)處理板需要的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)發(fā)至對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)處理板，并與平臺(tái)位置信號(hào)比較，如果在該位置則數(shù)據(jù)處理板將數(shù)據(jù)發(fā)送至對(duì)應(yīng)數(shù)字光調(diào)制器，實(shí)現(xiàn)了數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)與無(wú)掩膜光刻的高同步性與實(shí)時(shí)性；本發(fā)明提供的技術(shù)方案能夠有效克服現(xiàn)有技術(shù)所存在的無(wú)掩膜光刻數(shù)據(jù)傳輸效率較低的缺陷。 |
