一種用于激光直寫光刻設(shè)備的激光功率計

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202220324111.8 申請日 -
公開（公告）號 CN216668997U 公開（公告）日 2022-06-03
申請公布號 CN216668997U 申請公布日 2022-06-03
分類號 G01J1/42（2006.01）I;G01J1/04（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 章廣飛;王運鋼;薛業(yè)保;李文靜 申請（專利權(quán)）人 安徽國芯智能裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥律眾知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 230051安徽省合肥市包河經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)重慶路與蘭州路交叉口中關(guān)村協(xié)同創(chuàng)新智匯園D3棟1樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于激光直寫光刻設(shè)備的激光功率計，包括一側(cè)開設(shè)小孔的半封閉殼體，以及設(shè)置于所述半封閉殼體內(nèi)部的凹透鏡組、光學(xué)衰減片和能量探頭，激光從小孔射入依次經(jīng)過凹透鏡組和光學(xué)衰減片，到達(dá)能量探頭。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單、成本低廉，便于集成到原有激光直寫光刻設(shè)備上，可以利用設(shè)備空閑的間隙時間實現(xiàn)功率測量，不影響設(shè)備的正常工作，實現(xiàn)在線測量；對于有閉環(huán)控制系統(tǒng)的設(shè)備，還可以將其連接至閉環(huán)控制系統(tǒng)，完成功率測量的同時，實現(xiàn)更多功能擴(kuò)展。