一種基于光源和圖形發(fā)生器同步控制的高速光刻方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110604017.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113359396A 公開(kāi)（公告）日 2021-09-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN113359396A 申請(qǐng)公布日 2021-09-07
分類(lèi)號(hào) G03F7/20 分類(lèi) 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 章廣飛;王運(yùn)鋼;薛業(yè)保;李文靜 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 安徽國(guó)芯智能裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥律眾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 侯克邦
地址 230051 安徽省合肥市包河經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)重慶路與蘭州路交叉口中關(guān)村協(xié)同創(chuàng)新智匯園D3棟1樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及無(wú)掩膜光刻，具體涉及一種基于光源和圖形發(fā)生器同步控制的高速光刻方法，將第一時(shí)鐘輸入鎖相環(huán)，得到具有穩(wěn)定相位差的第二時(shí)鐘，對(duì)第二時(shí)鐘進(jìn)行相位調(diào)節(jié)，并根據(jù)第二時(shí)鐘的最終相位調(diào)節(jié)同步脈沖控制信號(hào)的輸出時(shí)間，第二時(shí)鐘分別向光源、圖形發(fā)生器發(fā)送同步脈沖控制信號(hào)，確定圖形發(fā)生器中的主同步機(jī)和副同步機(jī)，主同步機(jī)向副同步機(jī)發(fā)送同步數(shù)據(jù)包，副同步機(jī)與主同步機(jī)同步進(jìn)行圖形變換；本發(fā)明提供的技術(shù)方案能夠有效克服現(xiàn)有技術(shù)所存在的無(wú)法對(duì)光源與圖形發(fā)生器進(jìn)行有效同步控制的缺陷。