一種基于光源和圖形發(fā)生器同步控制的高速光刻方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110604017.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113359396A 公開（公告）日 2021-09-07
申請公布號 CN113359396A 申請公布日 2021-09-07
分類號 G03F7/20 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 章廣飛;王運鋼;薛業(yè)保;李文靜 申請（專利權）人 安徽國芯智能裝備有限公司
代理機構 合肥律眾知識產權代理有限公司 代理人 侯克邦
地址 230051 安徽省合肥市包河經濟開發(fā)區(qū)重慶路與蘭州路交叉口中關村協同創(chuàng)新智匯園D3棟1樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及無掩膜光刻，具體涉及一種基于光源和圖形發(fā)生器同步控制的高速光刻方法，將第一時鐘輸入鎖相環(huán)，得到具有穩(wěn)定相位差的第二時鐘，對第二時鐘進行相位調節(jié)，并根據第二時鐘的最終相位調節(jié)同步脈沖控制信號的輸出時間，第二時鐘分別向光源、圖形發(fā)生器發(fā)送同步脈沖控制信號，確定圖形發(fā)生器中的主同步機和副同步機，主同步機向副同步機發(fā)送同步數據包，副同步機與主同步機同步進行圖形變換；本發(fā)明提供的技術方案能夠有效克服現有技術所存在的無法對光源與圖形發(fā)生器進行有效同步控制的缺陷。