一種光刻設(shè)備的環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110604019.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113252109A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-08-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113252109A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-08-13 |
| 分類號(hào) | G01D21/02 | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 章廣飛;王運(yùn)鋼;薛業(yè)保;李文靜 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 安徽國(guó)芯智能裝備有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥律眾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 侯克邦 |
| 地址 | 230051 安徽省合肥市包河經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)重慶路與蘭州路交叉口中關(guān)村協(xié)同創(chuàng)新智匯園D3棟1樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種光刻設(shè)備的環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，包括主控模塊、以及連接主控模塊的環(huán)境采集模塊、警報(bào)模塊、顯示模塊和提供電能的供電模塊；主控模塊，用于接收數(shù)據(jù)并對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行處理以及發(fā)送指令；環(huán)境采集模塊，用于對(duì)光刻設(shè)備所處環(huán)境中灰塵、溫度、濕度和光強(qiáng)的數(shù)據(jù)采集并發(fā)送至主控模塊；警報(bào)模塊通過(guò)執(zhí)行主控模塊發(fā)出的指令從而發(fā)出警報(bào)；顯示模塊用于對(duì)主控模塊接收的數(shù)據(jù)以及處理的數(shù)據(jù)進(jìn)行顯示；本發(fā)明通過(guò)對(duì)光刻設(shè)備所處環(huán)境的數(shù)據(jù)采集，便于通過(guò)數(shù)據(jù)的綜合判斷對(duì)產(chǎn)品良率進(jìn)行預(yù)測(cè)。 |
