一種用于半導(dǎo)體制造流程的動態(tài)監(jiān)控方法及系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210143870.9 申請日 -
公開（公告）號 CN114429311A 公開（公告）日 2022-05-03
申請公布號 CN114429311A 申請公布日 2022-05-03
分類號 G06Q10/06（2012.01）I;G06Q50/04（2012.01）I 分類 計算；推算；計數(shù);
發(fā)明人 鄒明蓓;朱佰喜;薛抗美;蔣彪;蔣旭霞 申請（專利權(quán)）人 廣州志橙半導(dǎo)體有限公司
代理機構(gòu) 北京中和立達知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張可
地址 510700廣東省廣州市黃埔區(qū)（中新廣州知識城）億創(chuàng)街1號406房之337
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種用于半導(dǎo)體制造流程的動態(tài)監(jiān)控方法及系統(tǒng)，其方法包括：確定待制造半導(dǎo)體，并從制造流程數(shù)據(jù)庫中調(diào)取待制造半導(dǎo)體的制造流程，并獲取制造流程中的制造指標(biāo)；按照制造指標(biāo)對待制造半導(dǎo)體相關(guān)的歷史制造數(shù)據(jù)進行類型分析，得到每個制造指標(biāo)的歷史數(shù)據(jù)集，并基于數(shù)據(jù)分析模型，確定對應(yīng)制造指標(biāo)存在的制造異常事件；確定對應(yīng)異常指標(biāo)在制造流程中的貫穿流程線，并基于制造異常事件確定貫穿流程線中的異常線程段，并構(gòu)建異常線程段的異常監(jiān)控集合；將異常監(jiān)控集合以及正常監(jiān)控集合，構(gòu)建待制造半導(dǎo)體的動態(tài)監(jiān)控集合，實現(xiàn)對待制造半導(dǎo)體在制造過程中的動態(tài)監(jiān)控。通過異常分析，確定異常線程段，并設(shè)置監(jiān)控集合，實現(xiàn)有效動態(tài)監(jiān)控。