一種陶瓷涂層石墨托盤旋轉(zhuǎn)組件

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210271334.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114457417A 公開（公告）日 2022-05-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN114457417A 申請(qǐng)公布日 2022-05-10
分類號(hào) C30B25/12（2006.01）I;C23C16/32（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I;C30B29/36（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 鄒明蓓;朱佰喜;薛抗美;雷宏濤;董志江 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廣州志橙半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中和立達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 510700廣東省廣州市黃埔區(qū)（中新廣州知識(shí)城）億創(chuàng)街1號(hào)406房之337
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種陶瓷涂層石墨托盤旋轉(zhuǎn)組件，包括承載盤和蓋板，所述承載盤上設(shè)有第一定位結(jié)構(gòu)，所述蓋板底部設(shè)有第二定位結(jié)構(gòu)，所述第一定位結(jié)構(gòu)與第二定位結(jié)構(gòu)相互配合。所述第一定位結(jié)構(gòu)為第一凹槽或第一凸臺(tái)，所述第二定位結(jié)構(gòu)為第二凸臺(tái)或第二凹槽，所述第一凹槽與第二凸臺(tái)相互配合，所述第一凸臺(tái)與第二凹槽相互配合。在承載盤與蓋板間使用外圓裙邊作中心的定位，使用凹凸槽作承載盤與蓋板間的旋轉(zhuǎn)角度方向的定位，代替現(xiàn)有的通過兩盤間的重力和摩擦力來(lái)限位的方法,克服了在旋轉(zhuǎn)時(shí)因慣性和氣流導(dǎo)致承載盤和蓋板間發(fā)生相對(duì)移位，使產(chǎn)品的生長(zhǎng)條件發(fā)生改變的缺點(diǎn)，從而有效提高產(chǎn)品的生長(zhǎng)質(zhì)量和良率。