一種耐高溫陶瓷涂層石墨托盤組件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210271333.2 申請日 -
公開（公告）號 CN114457322A 公開（公告）日 2022-05-10
申請公布號 CN114457322A 申請公布日 2022-05-10
分類號 C23C16/458（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 鄒明蓓;朱佰喜;薛抗美;蔣彪;蔣旭霞 申請（專利權）人 廣州志橙半導體有限公司
代理機構 北京中和立達知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 -
地址 510555廣東省廣州市黃埔區(qū)（中新廣州知識城）億創(chuàng)街1號406房之337
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種耐高溫陶瓷涂層石墨托盤組件，包括：承載大盤、若干支撐及固定裝置、若干托盤、機械驅動機構；所述承載大盤上通過若干支撐及固定裝置連接有若干托盤，所述機械驅動機構用于驅動所述承載大盤及所述托盤轉動。本申請在MOCVD或高溫CVD外延生長爐中，在承載大盤與托盤間使用滾珠和中間定位柱架開且使用齒輪驅動的機械方法代替現(xiàn)有的氣流導向使得托盤懸浮起來的方法,克服旋轉時因氣流不穩(wěn)不均勻導致托盤和承載大盤發(fā)生磨擦碰撞，導致產(chǎn)生裂縫，也可以規(guī)避涂層與運動部件直接接觸磨損暴露石墨基底，從而被腐蝕性氣體滲入，使石墨崩壞導致托盤組件報廢的缺點，從而有效提高耐高溫陶瓷涂層石墨托盤組件的壽命。