一種碳化硅晶圓激光切割設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210377582.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114453773B | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-06-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114453773B | 申請(qǐng)公布日 | 2022-06-24 |
| 分類(lèi)號(hào) | B23K26/38;B23K26/08;B23K26/70;B23K101/40 | 分類(lèi) | 機(jī)床；不包含在其他類(lèi)目中的金屬加工; |
| 發(fā)明人 | 朱佰喜;薛抗美;盧曉穎 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 廣州志橙半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳漢林匯融知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 劉臨利 |
| 地址 | 510700 廣東省廣州市黃埔區(qū)（中新廣州知識(shí)城）億創(chuàng)街1號(hào)406房之337 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明適用于激光切割技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種碳化硅晶圓激光切割設(shè)備，所述碳化硅晶圓激光切割設(shè)備包括：操作臺(tái)，所述操作臺(tái)上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一螺紋桿，所述第一螺紋桿上螺紋連接有第一螺紋塊；安裝板，安裝在所述第一螺紋塊上，所述安裝板上安裝有激光自動(dòng)切割組件；連接驅(qū)動(dòng)組件，安裝在所述操作臺(tái)內(nèi)部。該碳化硅晶圓激光切割設(shè)備會(huì)自動(dòng)感應(yīng)是否有碳化硅晶圓經(jīng)過(guò)，只有當(dāng)碳化硅晶圓處于激光自動(dòng)切割組件下方時(shí)，激光自動(dòng)切割組件才會(huì)自動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)，來(lái)進(jìn)行激光切割操作，避免不必要的激光使用導(dǎo)致的意外發(fā)生，同時(shí)該裝置具有自動(dòng)調(diào)節(jié)切割位置的效果，使用方便，自動(dòng)化程度高，便于操作。 |
