一種碳化硅槳的燒結(jié)工裝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210383380.6 申請日 -
公開（公告）號 CN114608329A 公開（公告）日 2022-06-10
申請公布號 CN114608329A 申請公布日 2022-06-10
分類號 F27B17/00（2006.01）I;F27D5/00（2006.01）I 分類 爐；窯；烘烤爐；蒸餾爐〔4〕;
發(fā)明人 孫利;朱佰喜;薛抗美;蔣彪;楊偉峰 申請（專利權(quán)）人 廣州志橙半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中和立達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 510700廣東省廣州市黃埔區(qū)（中新廣州知識城）億創(chuàng)街1號406房之337（僅限辦公）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種碳化硅槳的燒結(jié)工裝，包括固定模塊，所述固定模塊包括：主體框架，所述主體框架周側(cè)連接若干：可調(diào)節(jié)定位位置的定位連接裝置。本發(fā)明使用時，將待燒結(jié)的碳化硅漿放入固定模塊中的主體框架內(nèi)，并通過調(diào)整主體框架連接的所有頂針的位置，使得所有的頂針與待燒結(jié)的碳化硅漿對應(yīng)位置的表面接觸定位，實現(xiàn)對待燒結(jié)的碳化硅漿定位夾持（夾緊），通過多個位置定位夾持，使得待燒結(jié)的碳化硅漿穩(wěn)定連接在主體框架內(nèi)。上述碳化硅漿工裝的設(shè)計具備：模塊化、簡便化、穩(wěn)定化和制造成本低等優(yōu)點(diǎn)。本發(fā)明解決了：目前的碳化硅槳的燒結(jié)工裝中通常對碳化硅槳的定位位置固定，無法調(diào)整的問題。