一種感應(yīng)加熱外延設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210271324.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114457424A 公開（公告）日 2022-05-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN114457424A 申請(qǐng)公布日 2022-05-10
分類號(hào) C30B29/36（2006.01）I;C30B25/10（2006.01）I;C30B25/14（2006.01）I;C30B25/02（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 蔣彪;朱佰喜;薛抗美;蔣旭霞;楊偉鋒 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廣州志橙半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中和立達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 510700廣東省廣州市黃埔區(qū)（中新廣州知識(shí)城）億創(chuàng)街1號(hào)406房之337
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種感應(yīng)加熱外延設(shè)備，包括：主腔體，主腔體連接有工藝氣體進(jìn)氣管組；上感應(yīng)加熱裝置、下感應(yīng)加熱裝置，上感應(yīng)加熱裝置包括上加熱板，下感應(yīng)加熱裝置包括下加熱板，上加熱板、下加熱板分別覆蓋在主腔體上下兩側(cè)，上加熱板、下加熱板外側(cè)均設(shè)置有電磁感應(yīng)加熱線圈；保溫及冷卻裝置，包括：兩個(gè)保溫冷卻板，保溫冷卻板連接有冷卻氣體進(jìn)氣管組，兩個(gè)保溫冷卻板分別設(shè)置在上加熱板、下加熱板外側(cè)。本申請(qǐng)通過直接電磁感應(yīng)加熱線圈平行布置，通過電磁感應(yīng)加熱線圈直接加熱加熱裝置（上加熱板和下加熱板），大大提高了加熱效率；同時(shí)在保溫層增加有較大的進(jìn)氣口，在冷卻過程中可以加大冷卻氣體的流量及流速，大大減少冷卻所需時(shí)間。