一種晶圓檢測(cè)設(shè)備鑄件基座
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110092455.0 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(kāi)(公告)號(hào) | CN112798827A | 公開(kāi)(公告)日 | 2021-05-14 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN112798827A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-14 |
分類(lèi)號(hào) | G01R1/04;G01R1/14 | 分類(lèi) | 測(cè)量;測(cè)試; |
發(fā)明人 | 梅力;胡冬云 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 | 南通盟鼎新材料有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
地址 | 226000 江蘇省南通市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)杏園路北 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種晶圓檢測(cè)設(shè)備鑄件基座,包括基座本體,基座本體包括底座、安裝平臺(tái)和支撐腿組件,支撐腿組件安裝于底座下端面四個(gè)角,安裝平臺(tái)安裝于底座上端面,安裝平臺(tái)上端面安裝上安裝架,上安裝架包括左安裝板、右安裝板和頂板,左安裝板、右安裝板立設(shè)于安裝平臺(tái)兩側(cè),頂板安裝于左安裝板和右安裝板頂部之間,安裝平臺(tái)上還設(shè)置安裝軌道,本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,整體穩(wěn)定性好,具有優(yōu)異的減震、緩沖和抗壓效果,能夠提高晶圓檢測(cè)設(shè)備的安裝穩(wěn)定性和后續(xù)檢測(cè)精度。 |
