一種晶圓檢測(cè)設(shè)備鑄件基座

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110092455.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN112798827A 公開(kāi)(公告)日 2021-05-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN112798827A 申請(qǐng)公布日 2021-05-14
分類(lèi)號(hào) G01R1/04;G01R1/14 分類(lèi) 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 梅力;胡冬云 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 南通盟鼎新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 226000 江蘇省南通市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)杏園路北
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種晶圓檢測(cè)設(shè)備鑄件基座,包括基座本體,基座本體包括底座、安裝平臺(tái)和支撐腿組件,支撐腿組件安裝于底座下端面四個(gè)角,安裝平臺(tái)安裝于底座上端面,安裝平臺(tái)上端面安裝上安裝架,上安裝架包括左安裝板、右安裝板和頂板,左安裝板、右安裝板立設(shè)于安裝平臺(tái)兩側(cè),頂板安裝于左安裝板和右安裝板頂部之間,安裝平臺(tái)上還設(shè)置安裝軌道,本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,整體穩(wěn)定性好,具有優(yōu)異的減震、緩沖和抗壓效果,能夠提高晶圓檢測(cè)設(shè)備的安裝穩(wěn)定性和后續(xù)檢測(cè)精度。