壓力傳感器的性能測(cè)試方法、測(cè)試裝置及存儲(chǔ)介質(zhì)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010465052.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111537143B | 公開（公告）日 | 2022-02-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111537143B | 申請(qǐng)公布日 | 2022-02-25 |
| 分類號(hào) | G01L27/00（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 姜琳琳;孫振國(guó);冀志猛 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 榮成歌爾微電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳市世紀(jì)恒程知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 | 代理人 | 陳文斌 |
| 地址 | 264200山東省威海市榮成市興業(yè)路1號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種壓力傳感器的性能測(cè)試方法，包括：在不同預(yù)設(shè)溫度以及同一預(yù)設(shè)壓力值下獲取壓力傳感器的第一實(shí)際溫度值、第二實(shí)際溫度值、第一實(shí)際壓力值以及第二實(shí)際壓力值；根據(jù)所述第一實(shí)際溫度值、所述第一實(shí)際壓力值、所述第二實(shí)際溫度值以及所述第二實(shí)際壓力值獲取溫度漂移值；在所述溫度漂移值小于或等于預(yù)設(shè)溫度漂移值時(shí)，根據(jù)第二預(yù)設(shè)壓力值以及所述第二預(yù)設(shè)溫度對(duì)所述壓力傳感器進(jìn)行壓力測(cè)試，所述第一預(yù)設(shè)壓力值小于所述第二預(yù)設(shè)壓力值。本發(fā)明還公開一種測(cè)試裝置及存儲(chǔ)介質(zhì)。本發(fā)明通過控制單一變量，保證測(cè)試溫度漂移值的準(zhǔn)確性，同時(shí)避免加壓對(duì)壓力傳感器硅膜片的影響，降低對(duì)壓力傳感器的誤判率的有益效果。 |
