一種基于深度學(xué)習(xí)和坩堝下降法的導(dǎo)電型氧化鎵制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011642153.8 申請日 -
公開（公告）號 CN112863619A 公開（公告）日 2021-05-28
申請公布號 CN112863619A 申請公布日 2021-05-28
分類號 G06N3/08(2006.01)I;G16C20/30(2019.01)I;C30B11/00(2006.01)I;C30B29/16(2006.01)I;G16C20/70(2019.01)I 分類 物理
發(fā)明人 齊紅基;王曉亮;張龍;陳端陽 申請（專利權(quán)）人 杭州富加鎵業(yè)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市君勝知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 謝松
地址 311400浙江省杭州市富陽區(qū)春江街道江南路68號第23幢301室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及基于深度學(xué)習(xí)和坩堝下降法的導(dǎo)電型氧化鎵制備方法，預(yù)測方法包括：獲取導(dǎo)電型氧化鎵單晶的制備數(shù)據(jù)；制備數(shù)據(jù)包括：籽晶數(shù)據(jù)、環(huán)境數(shù)據(jù)、控制數(shù)據(jù)以及原料數(shù)據(jù)；原料數(shù)據(jù)包括：摻雜類型數(shù)據(jù)及導(dǎo)電摻雜濃度；對制備數(shù)據(jù)進(jìn)行預(yù)處理；將預(yù)處理的制備數(shù)據(jù)輸入訓(xùn)練好的神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型，得到導(dǎo)電型氧化鎵單晶對應(yīng)的預(yù)測性質(zhì)數(shù)據(jù)；所述預(yù)測性質(zhì)數(shù)據(jù)包括：預(yù)測載流子濃度。先將制備數(shù)據(jù)進(jìn)行預(yù)處理，得到預(yù)處理的制備數(shù)據(jù)，將預(yù)處理的制備數(shù)據(jù)輸入訓(xùn)練好的神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型，得到導(dǎo)電型氧化鎵單晶對應(yīng)的預(yù)測性質(zhì)數(shù)據(jù)，通過調(diào)整制備數(shù)據(jù)，可以得到預(yù)定載流子濃度的導(dǎo)電型氧化鎵。??