一種摻Al氧化鎵X射線探測器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110186966.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113035999A 公開（公告）日 2021-06-25
申請公布號 CN113035999A 申請公布日 2021-06-25
分類號 H01L31/18;H01L31/115;H01L31/032 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 齊紅基;賽青林 申請（專利權）人 杭州富加鎵業(yè)科技有限公司
代理機構 深圳市君勝知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 劉文求;朱陽波
地址 311400 浙江省杭州市富陽區(qū)春江街道江南路68號第23幢301室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種摻Al氧化鎵X射線探測器及其制備方法，摻Al氧化鎵X射線探測器的制備方法包括步驟：提供摻Al氧化鎵單晶；對所述摻Al氧化鎵單晶進行切割處理得到單晶基體片；對所述單晶基體片進行退火處理得到退火的單晶基體片；在所述退火的單晶基體片上形成叉指電極得到摻Al氧化鎵X射線探測器。本發(fā)明采用摻Al氧化鎵單晶，通過在氧化鎵中摻雜Al提高探測器的電阻率，并將摻Al氧化鎵單晶切割后得到單晶基體片，并對單晶基體片進行退火處理，通過退火處理降低摻Al氧化鎵單晶中自由電子濃度，從而提高探測器的靈敏度。