一種籽晶桿抖動檢測裝置的檢測方法及晶體生長方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110180091.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113026090A 公開（公告）日 2021-06-25
申請公布號 CN113026090A 申請公布日 2021-06-25
分類號 C30B15/20;C30B29/16 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 齊紅基;陳端陽 申請（專利權）人 杭州富加鎵業(yè)科技有限公司
代理機構 深圳市君勝知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 劉文求;朱陽波
地址 311400 浙江省杭州市富陽區(qū)春江街道江南路68號第23幢301室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種籽晶桿抖動檢測裝置的檢測方法及晶體生長方法，檢測方法包括步驟：控制所述激光器發(fā)出激光，并通過所述接收器得到所述籽晶桿對應的光斑圖像序列；所述光斑圖像序列中的光斑圖像為籽晶桿一個振動周期內(nèi)的光斑圖像，所述光斑圖像序列包括第一光斑圖像和第二光斑圖像；根據(jù)所述光斑圖像序列，確定所述籽晶桿的抖動信息。由于通過接收器得到籽晶桿對應的光斑圖像序列，光斑圖像序列包括第一光斑圖像和第二光斑圖像，并根據(jù)光斑圖像序列，得到籽晶桿的抖動信息，從而檢測晶體生長過程中籽晶桿的抖動情況。