一種籽晶桿抖動(dòng)檢測裝置的檢測方法及晶體生長方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110180093.0 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN113049082A 公開（公告）日 2021-06-29
申請公布號(hào) CN113049082A 申請公布日 2021-06-29
分類號(hào) G01H9/00;C30B29/16;C30B15/26 分類 測量；測試;
發(fā)明人 齊紅基;陳端陽 申請（專利權(quán)）人 杭州富加鎵業(yè)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市君勝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉文求;朱陽波
地址 311400 浙江省杭州市富陽區(qū)春江街道江南路68號(hào)第23幢301室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種籽晶桿抖動(dòng)檢測裝置的檢測方法及晶體生長方法，檢測方法包括步驟：控制所述成像器對所述籽晶桿進(jìn)行成像，得到所述籽晶桿對應(yīng)的圖像序列；所述圖像序列中的圖像為所述籽晶桿一個(gè)振動(dòng)周期內(nèi)的圖像，所述圖像序列包括第一圖像和第二圖像；根據(jù)所述圖像序列，確定所述籽晶桿的抖動(dòng)信息。由于通過成像器得到籽晶桿對應(yīng)的圖像序列，圖像序列包括第一圖像和第二圖像，并根據(jù)圖像序列，得到籽晶桿的抖動(dòng)信息，從而檢測晶體生長過程中籽晶桿的抖動(dòng)情況。