一種制備CIGS太陽能電池的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310740599.8 申請日 -
公開（公告）號 CN103681975B 公開（公告）日 2017-01-25
申請公布號 CN103681975B 申請公布日 2017-01-25
分類號 H01L31/18(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳進(jìn)中;莫經(jīng)耀;吳伯增;林東東;甘振英 申請（專利權(quán)）人 廣西華錫集團(tuán)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州凱東知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 姚迎新
地址 545006 廣西壯族自治區(qū)柳州市高新一路15號標(biāo)準(zhǔn)車間D棟東面5樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及CIGS太陽能電池，具體說是一種制備CIGS太陽能電池的方法,其包括在基板上濺鍍鉬電極層、將具有鉬電極層的基板置于真空室內(nèi)，并正向推動(dòng)基板，在基板上濺鍍CIGS吸收層、反向推動(dòng)基板，在吸收層上濺鍍CdS緩沖層、并在緩沖層上鍍上ZnO導(dǎo)電氧化層、在導(dǎo)電氧化層上鍍上AZO層、切割封裝。本發(fā)明通過基板的正向移動(dòng)，濺鍍吸收層；基板反向移動(dòng)，濺鍍緩沖層，不僅提高了生產(chǎn)效率，而且節(jié)省了空間，降低了生產(chǎn)成本。本發(fā)明有效控制了CIGS吸收層的濺鍍，并精確控制了各層的厚度，生產(chǎn)的產(chǎn)品質(zhì)量好。