渦輪分子泵減震器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710683709.X 申請日 -
公開（公告）號 CN109386564A 公開（公告）日 2019-02-26
申請公布號 CN109386564A 申請公布日 2019-02-26
分類號 F16F3/12 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 戴曉鵬 申請（專利權(quán)）人 合肥國儀精密科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 201210 上海市浦東新區(qū)紫薇路193弄14號501室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種渦輪分子泵減震器，包括法蘭一、筒體一、不銹鋼波紋管，橡膠填充物、筒體二及法蘭二。本發(fā)明提供的渦輪分子泵減震器，其通過上下兩個(gè)法蘭分別與掃描電子顯微鏡樣品室和渦輪分子泵密封聯(lián)接，通過不銹鋼波紋管和橡膠填充物的共同作用，可以有效防止渦輪分子泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中產(chǎn)生的震動(dòng)向掃描電子顯微鏡樣品室傳遞。本發(fā)明在解決渦輪分子泵減震問題的同時(shí)又完成了渦輪分子泵的安裝固定，極大地簡化了裝配過程的復(fù)雜性。