壓力傳感器和慣性傳感器及其形成方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310508730.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN103708409A 公開(kāi)（公告）日 2014-04-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN103708409A 申請(qǐng)公布日 2014-04-09
分類號(hào) B81B7/02(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 毛劍宏 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 張家港麗恒光微電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 張家港市高松專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張家港麗恒光微電子科技有限公司;上海麗恒光微電子科技有限公司;麗水玨意芯誠(chéng)電子科技合伙企業(yè)（有限合伙）;浙江玨芯微電子有限公司
地址 215612 江蘇省蘇州市張家港市鳳凰鎮(zhèn)雙龍村張家港麗恒光微電子科技有限公司
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種壓力傳感器和慣性傳感器及其形成方法，形成方法包括：提供具有CMOS控制電路的襯底，襯底包括第一區(qū)和第二區(qū)；在第一區(qū)上形成第一犧牲層，在第二區(qū)上形成第二犧牲層；形成頂部電極和第一電極；在頂部電極中形成第一開(kāi)口，通過(guò)第一開(kāi)口去除第一犧牲層；在頂部電極和第一電極上形成質(zhì)量層；質(zhì)量層的材料選用與CMOS控制電路形成工藝兼容的材料；在頂部電極上的質(zhì)量層中形成第二開(kāi)口，形成電容的兩相對(duì)極板、與質(zhì)量塊連接的彈性件，第二開(kāi)口包圍的部分頂部電極作為壓力感應(yīng)區(qū)。本發(fā)明可以將壓力傳感器和慣性傳感器在同一工藝中形成、而且和CMOS工藝兼容。